測量平臺的材料有用鑄鐵制造，也有用花崗巖制造，這兩種材料各有其優缺點。鑄鐵測量平臺已有長久的使用歷史，它具有一定的耐磨性、較好的短期穩定性、長期穩定性取決于它的穩定處理、受潮會長銹但不變形、碰撞時表面可能出小坑，但不出毛刺故不影響測量。可根據實際條件來選用測量平臺的材料。中小工件平時都放在測量平臺上進行檢測，故測量平臺實際上是測量的基準面，對它應有嚴格的精度要求。

1、測量平臺的選用

1）現在標準的平臺有不同的精度等級  標準平臺有00,0,1,2級。正確選用和保持平臺表面處于良好狀態，對獲得精確地測量結果十分重要。

現在生產中使用的平臺的測量表面多數為矩形，長寬比約為4:3。用三塊平臺輪流相互對研，達到完全接觸，即認為已獲得良好的平面。高精度的基準平臺應采用正方形臺面，平面度達到0.6μm。矩形平臺三塊對研，有可能產生一種扭曲面，相互間仍能相配；方形平臺對研時轉過90°即可避免這種扭曲。

2）測量平臺的結構  過去平臺都采用平板下加強筋，有三個支撐點架在底架上。這種結構剛度不是很高，不能滿足高精度測量要求。現在的測量平臺都采用箱式結構，扁平的箱中有加強肋支撐，這種結構的剛性大大提高，因而保證了高精度的測量。

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2、測量平板的支撐

大尺寸的平臺重量較大（例如1200mmX1200mm的平臺質量約為1150kg），如采用三點支撐則支撐點間距離大，平臺將因自重及加上的較重被測件而變形，平臺變形將影響測量精度。

大型測量平臺常采用多點支撐法。例如，在原來平臺的三個支撐點上，各放一個能浮動的三爪支撐架，上面再放測量平臺。這樣，大型平臺有了九個受力支撐點，各支撐點均能均勻受力，但實際上仍是應用了三點支撐一平面的原理。由于各支撐點間距離大大縮小，平臺受力的變形減小很多，明顯提高了測量精度。

3、鑄鐵測量平臺本身的精度檢驗

測量平臺（特別是鑄鐵平臺）使用后，因磨損和變形會使精度下降。因此需要定期復檢測量平臺表面的平面度。

常用的平臺檢測是用三塊平臺輪流對研，找出凸起處進行刮研，直到接觸斑點分布均勻。對高精度測量平臺檢測平面度可用電子水平儀、自準直光管或雙頻激光干涉儀，測出平臺各處的水平傾角，經過數據處理，可以得到平臺各處平面度誤差的具體數值。